电子特气检测

电子特气定义及分类:

电子特种气体（简称“电子特气”）是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。

晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺，从单个芯片生成到最后器件的封装，几乎每一个环节都离不开电子气体，因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。

集成电路芯片制造需要使用多种电子特气，包括硅烷等硅族气体、PH3等掺杂气体、CF4 等蚀刻气体、WF6 等金属气相沉积气体及其他反应气体和清洗气体等。

检测范围：三氯化硼、三氟化氮、六氟丁二烯、氟甲烷等，电子特气检测项目：定性定量分析、纯度、杂质含量、稳定性、刺激性等，北检(北京)检测技术研究院实验室可根据GB/T 40417-2021、GB/T 17874-2021等相应电子特气检测标准为合作伙伴提供分析服务

检测周期：常规7-15个工作日出具电子特气检测报告

样品量：根据客户的试验需要(是否需要制样)，详情可咨询工程师

检测范围

硅烷气体、超纯氨、磷烷气体、三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、四氧化二氮、硒化氢、硫化氢、一氧化氮、高纯砷烷、硼烷、三氯氢硅、高纯四氯化硅、电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅等

电子特气检测标准

GB/T T18667-2002 电子特气 六氟化硫

GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

　　GB/T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯

　　GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷

检测流程

▪业务受理 ：确定检测需求

▪样品寄送 ：客户可选择送样或邮寄样品，北检院亦提供上门取样服务

▪样品初检 ：确认样品基本信息、检测用途、执行标准等

▪签订协议：注重保护客户隐私

▪开始试验：安排费用后进行样品检测

▪报告编制：根据实验室上报的数据编写报告草件，确认信息是否无误

▪出具报告：后期服务完善，可随时咨询

以上是与电子特气检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。